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半导体材料的检测手段

时间:2023-12-02 11:20:09

导读:半导体材料检测有哪些种类?测试半导体材料有哪些方法? 1. 电学性能测试 电学性能测试包括测试电阻、 电容 与 电流 -电压特性。 测试方法:用四探针法测量半导......

半导体材料检测有哪些种类?测试半导体材料有哪些方法?

1. 电学性能测试

电学性能测试包括测试电阻、 电容 与 电流 -电压特性。

测试方法:用四探针法测量半导体材料 电阻 ,通过计算电阻率来评估材料的导电性能。使用LCR表测量电容,评估材料的介电性能。用源测量器测量半导体材料电流-电压特性,了解和评估半导体材料的电导性。

2. 光学性能测试

光学性能测试主要包括吸光度、透过率与光谱响应的测量。

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